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SDY-4四探针测试仪是根据单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准设计的半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)测试专用仪器。
仪器以大规模集成电路为核心部件,应用模拟和数字控制技术,配备微型电动升降测试台：采用平面轻触式开关控制,及各种工作状态LED指示。整套仪器体积小、功耗低、测量精度高、测试速度快、稳定性好、易操作。
本仪器适用于测量半导体晶片电阻率，以及扩散层材料、离子注入层、异型外延层的方块电阻。也可测量在玻璃等绝缘材料上形成的器件的导电薄膜方块电阻。
技术指标
1 测量范围：电阻率：0.001-200Ω.cm(可扩展)。 方块电阻：0.01-2000Ω/口(可扩展)。
2 可测晶片直径(最大)：100mm/150mm。
3 恒流源：电流量程分为0.1、1、10、100(mA)四档,各档电流连续可调。误差<±0.3%
4 数字电压表：量程：0-199.99mV。
分辨率：10μV。显示：四位半红色发光管数字显示。极性、小数点、超量程自动显示。输入阻抗>1000MΩ。
精度：±0.1%.
5 最大电阻测量误差(按JJG508-87进行)：0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字.
6 四探针探头：间距：1±0.01mm。针间绝缘电阻≥1000MΩ。机械游移率：≤0.3%
探针压力：TZT-9C/9D 5-8 牛顿(总力)
7 整机不确定度：(用硅标样片测试)≤5% (0.01-180Ω.cm)
8 外形尺寸：电气主机：360×320×100mm；测试台：260×154×250mm
9 数据处理器：300×210×105mm
10 仪器重量：电气主机：约4kg；测试台：约10kg
11 测试环境：温度23±2℃；相对湿度≤65％；无高频干扰；无强光照射。
主要功能特点
1.测试数据自动保持(当该功能选择有效时)。
2.无样品数据自动显示为零(当该功能选择有效时)。
3.无外负载式电流调整。
4.恒流源电路正常自动显扎示。
5.电动测试台多种操作方法选择。
订购指南 （2--3个月货期）
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